Chiller高精度冷熱循環(huán)器PTS系列主要應用于半導體制程中CVD/PVD、Etch和IMP精確控溫領域，激光、醫(yī)療和精密實驗室溫控方案。

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更新時間：2025-12-11

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產品介紹

Chiller高精度冷熱循環(huán)器PTS系列產品，可實現(xiàn)對設備出口溫度的精準控制，控溫精度在±0.1℃以內。產品主要應用于半導體制程中CVD/PVD、Etch和IMP精確控溫領域，激光、醫(yī)療和精密實驗室溫控方案。全系列采用全直流變頻壓縮機，磁力耦合泵，電子膨脹閥節(jié)流裝置，西門子控制器，壓縮機及主要制冷部件均采用國際的品牌，產品穩(wěn)定性高。循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱管、膨脹容器、排氣閥、單向閥、熱電阻、管道等組成。控制系統(tǒng)采用PID控制技術，高清觸摸屏顯示，設有多項保護功能，確保設備安全運行。通過機組自身的制冷與加熱，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件要求。

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